其它
商品名稱:質量流量控制器
商品型號:DP-D07-7B
商品型號:DP-D07-7B
質量流量控制器 型號;DP-D07-7B
DP-D07-7B型 質量流量控制器
儀器簡介:
質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
技術參數:
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滿量程流量范圍(N2) |
5SCCM~10SLM |
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控制范圍 |
2~100%F.S. |
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閥類型(及閥初始狀態) |
電磁調節閥(常閉) |
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準確度 |
±1.5%F.S. |
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線性 |
±0.5~1.5%F.S. |
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重復精度 |
±0.2%F.S. |
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響應時間 |
≤7sec |
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工作溫度范圍 |
5~45℃ |
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工作壓差 |
0.1~0.5MPa |
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耐壓 |
3MPa |
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漏氣率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
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密封材料 |
氟橡膠(或氯丁橡膠) |
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電插頭形式 |
DB15 pin(Female) |
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接頭選擇 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
|
重量 |
1.1Kg |
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